　高気密，高耐気圧，クリーン加熱用　熱風ヒータ　| Fintech

高気密，高耐気圧，クリーン加熱用　熱風ヒータ

塵やガスの放出を極限まで排除したヒータです。半導体製造等のクリーンルームでの御使用に適しています。
発熱体もセンサーも電線も被加熱流体に直接接触しないため、水蒸気や多少の腐食性ガスの加熱にも使えます。
他の方式に比べ、低コストで汎用性が高く高信頼性です。

CLN（N）38シリーズ

CLH38シリーズに新構造のCLH(N)タイプを加えました。

接着剤を使わない構造です。溶接とOリングで高度な気密と耐圧を得ています。従来のCLHシリーズはシリコン系のRTVゴムを使用していましたが、このCLH（N）シリーズはシリコン系材料を接ガス部には一切使用しておりません。加熱するエアーや各種ガスに接する部分は耐蝕性金属と石英ガラス、そしてわずかにOリングのみです。Oリングは標準でフッ素ゴムを使っています。熱風温度測定用熱電対を改良し、測定値を安定化しています。水の直接加熱が可能なほどの気密性、絶縁性を有しています。水蒸気を含めた多くの気体の加熱に有効です。耐振、耐衝撃性を大幅に高めています。

エアー流量と温度、圧損の関係

被測定ヒータ CLH(N)200v-1.5kw/38PH/+S

注意

CLHタイプは通常のヒータ（SAHタイプ）に比べると非常にタフですが、金属ケース（ステンレス製）や石英ガラス，耐熱ゴム(バイトン)などが耐える程度のご使用条件に限ります。
　
塵などの発生原因を無くしたクリーン構造ですが、ご使用前に清浄な空気等で十分に通電フラッシング（通電加熱しながらクリーンエアー等を流して塵の発生が無くなるまで加熱通風洗浄）してください。
　
このヒータは塵等の発生原因を構造的に排除しているだけであり、ヒーターの製造は通常のヒーター製造工程です。従って初期状態は汚れがあると思ってください。そのまま即クリーンルームで稼働できる状態ではありません。
　
発塵量に関する具体的保証数値は提示できません。

窒素ガス，不活性ガス（アルゴンガス等）の加熱は全く問題ありません。

ヒータ内に残留しやすい物質を含む様な流体の加熱には適しません。（熱風ヒータ全般）

CAD図面(dwg.)　ダウンロード

CLH220v-1.8kw/38PH/(R3/8-R3/4)

CLH□v-1.5～4kw/38PH/IN-OUT

CLH200v-4kw/45PH/低圧損

CLH200v-3～4kw/45PH/低圧損

CLH380v-12kw/30×6PH/R1-R1/+2S

CLH□ｖ-□w/30×6PH/Ｌ□/M98F-M98F

CLH200v-1.5k/38PH/(R1/2-R1/2)ノンシリコン

CLH200v-1kw/29PH/G□F-G□F/+Ｓ

CLH220v-12kw/30×6PH/R1-R1/+2S

CLH380v-6kw/30×6ＰＨ/(Rc3/4-Rc3/4)+2S

CLH100v-250w/15PH/(Rc1/8-Φ9）特

他のファイル型式が必要な場合はご相談ください。→asada＠fintech.co.jp

　CLH is a heater without the discharges of dust and an impure gas, etc.
　CLH is used in the semiconductor manufacturing process etc.
　CLH is possible to use it to heat steam etc. because neither the heat
　source, the sensor nor the electric wire come in contact with the fluid.