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 高気密,高耐気圧,クリーン加熱用 熱風ヒータ  ATHCLH
 

                                    超高気密ヒータ ATHタイプにジャンプ
   
   CLH type 

 塵やガスの放出を極限まで排除したヒータです。半導体製造等のクリー
 ンルームでの御使用に適しています。

 発熱体もセンサーも電線も被加熱流体に直接接触しないため、水蒸気
 や多少の腐食性ガスの加熱にも使えます。

 他の方式に比べ、低コストで汎用性が高く高信頼性です。

φ19金属ケース入製品の一例。
CLH type clean heater series 発熱体や温度センサーは内側の石英管内に密閉封入
されています。

エアーはこの内側石英管と外側石英管の隙間を通るこ
とにより間接的に加熱されます。

**  
−注意−
 
CLHタイプは通常のヒータ(SAHタイプ)に比べると非常にタフですが、金属ケース(ステンレス製)や石英ガラス,耐熱
ゴム(バイトン,シリコン)などが耐える程度のご使用条件に限ります。
 
塵などの発生原因を無くしたクリーン構造ですが、ご使用前に清浄な空気等で十分に通電フラッシング(通電加熱しなが
らクリーンエアー等を流して塵の発生が無くなるまで加熱通風洗浄)してください。
 
このヒータは塵等の発生原因を構造的に排除しているだけであり、ヒーターの製造は通常のヒーター製造工程です。従っ
て初期状態は汚れがあると思ってください。そのまま即クリーンルームで稼働できる状態ではありません。
 
発塵量に関する具体的保証数値は提示できません。
 
窒素ガス,不活性ガス(アルゴンガス等)の加熱は全く問題ありません。
 
ヒータ内に残留しやすい物質を含む様な流体の加熱には適しません。(熱風ヒータ全般)
 
38PH,45PH以外のサイズ(太さ)のヒータは、熱風出口側の金具(ネジ)は標準では接着や溶接をしません。従って圧力のかかる使い方ではネジ部から多少漏れます。ネジ部に接着剤を付ければ、かなり漏れを防げますが完全ではありません。また接着剤は厳密には塵の発生源になります。そのため圧力が加わる用途で漏れが問題になる場合はTig溶接が望ましいです。この部分は完成品でもTig溶接が可能ですので、ユーザーサイドで行っていただいてかまいません。もし予め溶接したものをご要望の場合は、ご注文時に指定してください(有償)。 
 
    
  
         CLH type     

  分類(加熱管径)   パワーレンジ   金属ケース      備考
  CLH-10シリーズ   100wクラス
  150wクラス
 φ13×L113
 φ13×L153
  技術資料付
  CLH-15シリーズ   250wクラス  φ19×L168   技術資料付
  CLH-29シリーズ   1000wクラス  φ34×L300

  CLH-38シリーズ   1500wクラス
  3000wクラス
 φ43×L385
 φ43×L550
  技術資料付
  CLH-45シリーズ   3000wクラス
 4000wクラス
 φ50×L550
 φ50×L680
  技術資料付
  低圧損タイプ
  250L/min.で1kPa以下
  CLH-30×6シリーズ   3000wクラス
 6000wクラス 
  12kwクラス  
 φ102×L310
 φ102×L430
 φ102×L680
  29シリーズの発熱体を
  6本束ねたもの。
 CLH-38×6シリーズ   12 kwクラス  φ140×L500  38シリーズの発熱体を
  6本束ねたもの。
  CLHタイプの各種資料
 
 
CAD図面(dwg.) ダウンロード
 
    
CLH220v-1.8kw/38PH/(R3/8-R3/4)
CLH□v-1.5〜4kw/38PH/IN-OUT
CLH200v-4kw/45PH/低圧損
CLH200v-3〜4kw/45PH/低圧損
CLH380v-12kw/30×6PH/R1-R1/+2S
CLH□v-□w/30×6PH/L□/M98F-M98F 
CLH200v-1.5k/38PH/(R1/2-R1/2)ノンシリコン
CLH200v-1kw/29PH/G□F-G□F/+S
CLH220v-12kw/30×6PH/R1-R1/+2S
CLH380v-6kw/30×6PH/(Rc3/4-Rc3/4)+2S
CLH100v-250w/15PH/(Rc1/8-Φ9)特
 
他のファイル型式が必要な場合はご相談ください。→asada@fintech.co.jp
 


      


 
  
 


 CLH is a heater without the discharges of dust and an impure gas, etc.
 CLH is used in the semiconductor manufacturing process etc.
 CLH is possible to use it to heat steam etc. because neither the heat
 source, the sensor nor the electric wire come in contact with the fluid.
 
     関連情報   右上段メニュ,左メニュもご参照ください。
*      項 目  Go          備 考
*熱風ヒータの概要,取扱説明 *熱風ヒータの使い方の詳細があります
*熱風加熱のビデオ *ハンダを溶かす実験や木材を焼切る実験ビデオ
*熱風ヒータの特性 *熱風ヒータの電圧-流量-熱風温度-エア圧力特性など
*熱風ヒータ専用コントローラ *熱風ヒータを制御して目的の温度,流量の熱風を得る装置
*エアー源について *各種エアー源の紹介。コンプレッサ,電磁ポンプ,ロータリブロア等
 熱電対による温度測定  測定方法の詳細と、代表的な熱電対であるK熱電対とR熱電対のデータ 
 熱風ヒータの計算方法  計算によりヒータの必要電力や予想される熱風温度,必要流量等を算出
   
 
温度センサーの寿命について
 
温度センサーの寿命ですが、CLHヒータの構造上、発熱体温度とほぼ同じ温度まで温度センサー線(熱電対)の
一部が温度上昇します。そのためにセンサーの寿命が問題になる可能性はあります。
 
この機種のセンサーには可能な限り太いK熱電対を使用しておりますが、小型の機種にはφ0.65程度しか使えま
せんので、ご使用条件(発熱体温度)によってはかなり寿命が短くなります。
 
発熱体を高温で使用される場合には、できれば温度センサーは外部から挿入するか、内蔵センサーの場合はR熱
電対(オプション)を使っておいた方が安全です。
 
 
使用材料について
 
このヒータには主要材料であるステンレス,石英ガラス,フッ素樹脂,フッ素ゴム以外にも接着や気密を保つ目的で
シリコン系の接着剤を使用します。これは特にご指定がなければシリコンRTVを使用します。これに代えて変性シリ
コン系の接着剤に変えることもできますが、多少耐熱性が劣ります(180℃→120℃)
 
 
 

                        
                              CLH−15シリーズへ
 
 
  CLH−10シリーズ 

 
  CLH−10シリーズ 特性

 
                              CLH−29シリーズへ
 
  CLH−15シリーズ 

 
 



                        
                              CLH−38シリーズへ
 
 
   CLH−29シリーズ 

 
                        
                              CLH−45シリーズへ
 
 
   CLH−38シリーズ                                               

 
                     CLH38シリーズ製造マニュアル
 
                        
                              CLH−30×6シリーズへ
 
 
      内管(加熱管)と外管の隙間を大きくして低圧損(1kPa以下)としたヒータ
 
     CLH−45シリーズ 

 
          上図ヒータの特性

 
                           CLH−38×6シリーズへ
 
 
   CLH−30×6シリーズ       

**

内部に6本のヒータを束ねた構造で、電源リード線はそれぞれが独立して引き出されています。そのため、外部接続で単相,三相デルタ,三相スター結線にすることができ、多様な電源に対応可能です。

 
                        
                        
 

CLH 100v-100w/10PHの特性 クリックで拡大
CLH 100v-250w/15PHの特性 クリックで拡大
CLH 200v-1.5kw/38PHの特性  クリックで拡大
CLH 220v-3kw/38PHk 特性  クリックで拡大
*
CLH440v-3kw/38PHの特性  クリックで拡大
CLH200v-3.5kw/45PH 低圧損型の特性
*

 
                       
                                    

  図面,資料 倉庫

 図面資料名  GO   備考
 CLH-38PH 汎用製品図 *公開
 CLH-30×6PH 石英内管 *公開
  CLH-30×6PH 金属内管 *公開
 CLH-30×6PH 金属ケース *公開
  CLH-29シリーズ設計 *oasファイル
  CLH-30×6製品図 *oasファイル
 CLH-38PH マニュアル *パスワード必要
 CLH-38PH 金属ケース(汎用) *公開
  CLH-38PH 製品図面(汎用) *公開
  CLH-38PH 金属ケース(1.5〜4k) *公開
  CLH-45PH-4kw金属ケース *公開  
  CLH200v-4kw/45PH 製品図 *公開
  CLH100v-2kw/38PH 製品図 *公開
 CLH-10,CLH-15 設計,データ *oasファイル
  CLHシリーズ特性 *oasファイル
  CLH38シリーズ設計詳細 *oasファイル
  CLH38/3kw/SUS310 設計詳細 *oasファイル
  CLH200v-1.5kw 内部加熱管-写真 *パスワード必要
  CLH220-1.8k/38PH/(R3/8-R3/4) *公開
  CLH220v-12kw/30×6PH/(R1-R1) *公開
  CLH380v-12kw/30×6PH/(R1-R1) *公開

  
 
  熱電対用リード線
    
K熱電対用リードはKの材質が安価なので、K熱電対そのものの材質で構成しています。しかしCのロボットケーブルは耐屈曲性を持たせるためにNi合金の補償導線としています。
 
R熱電対用は合金の補償導線です。
  
価格(工賃別)
@¥300/m
A¥600/m
B¥800/m
C¥1500/m
 
  @ K用単線
  
導体Φ0.2又はφ0.32
ガラス被覆Φ1.5
   
 A K用単線
  
導体Φ0.2又はφ0.32
テフロン被覆Φ1.5
 B R用 ヨリ線
  
導体Φ0.08×7本
テフロン被覆Φ1.5
耐屈曲性が良好 
 C K用ヨリ線
ロボットケーブル  
導体Φ0.1×7本
高強度シリコンΦ3.2
耐屈曲性が優秀
 
  
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 推奨するご使用方法   SAH型熱風ヒータはエアー流量のコントロールと、熱風温度のコントロールが必要です。
 
 専用コントローラ  FCM−N型   これ一台でエアーと電気のコントロールをまとめて行いますので、これだけで完結です。
 
  掲載ページへリンク 
 
  熱風温度とヒーター出力(%)を指定するだけです
  かんたん操作で超高安定性です。
       ¥129800. 
 
   供給電源   AC100v〜240v フリー電圧
   供給エアー  圧力0.3MPa  清浄なエアー
 
 
  
 上記専用コントローラのご使用を強く推奨致しますが、使われない場合は下記の様な方法でコントロールしてください。

 
   

   ATH type 
 
 高気密構造であり、内部を高真空にする事もできます。
 
 高い耐圧力 1.0MPa  シリコーン系材料は不使用
 
 発熱体としては通常のSAHD型と同じ発熱体やクリーンヒータCLH型
 と同じ発熱体やハロゲンランプを使ったタイプを選ぶ事ができます。
 そのため用途に応じて超クリーンなヒータ(パーティクルの発生が原理
 的には無い)も選択可能です。

 
 ATHD型
 
 通常のSAHDと同じ発熱体のATHDタイプ
 
 通常のSAHDと同様に超高密度HDコイルを採用し、小さくても大出力で800℃を超える高温熱風が得られます。
 
 ATHDは完璧な気密性をもち、エアー漏れはゼロです。そのため内部を高真空にもできます。
 
 ATHDは1.0MPaという大きな耐圧力も持っています。
 
 ATHD型は内部構成材料にシリコーン系の材料は使用しておりません。
 
左:完成品ATHヒータ L180タイプ

左下:内部構造

下:断熱器付きモデル L180
 
 
 
     CAD図面(dwg.) ダウンロード
 
    ATHシリーズ:IDS-HP用抜粋
 
   
   ブラウザがGoogle Chromeやfirefox等であれば、そのままクリックでダウンロードできます。しかし他のブラウザ(IE等)
   の場合は対象ファイルの上でマウスを右クリックして「対象をファイルに保存」を選び、適当な場所にダウンロードさせて
   ください。そしてファイルの拡張子が.html になっていれば、それを.dwgに書き換えればCADで読み込めます。
 
   他のファイル型式が必要な場合はご相談ください。→asada@fintech.co.jp
 
 

 

 
エアー配管接続について
 
エアー出入り口はスウェージロック等を使用して接続してください。溶接してもかまいませんが、エアー入口側は電線等が高温
(200℃以上)にならないように配慮してください。
 
 
温度センサーのご使用法について
 
温調器を使い、内蔵温度センサー(K熱電対)で温度調節してください。これであれば万一エアーが停止してしまっても発熱体は安
全な温度をキープします。従って数分間程度ならエアー停止状態が続いてもヒーターは耐えます。ただしそれ以上に長時間エア
停止が続くと発熱体は大丈夫でも熱伝達で電線その他が過熱状態になります。そのためこれは完全な安全対策ではありません。
 
これの対策としては、熱風温度が所定の値になっているのにヒーターへの出力が異常に少ない場合にはエアーが停止していると
判断させて、ヒーター電源を遮断すれば安全に停止できます。
 

 

 
 

                      
                        
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