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     クリーン加熱用 熱風ヒータ  CLH,NPH

   CLH type 



 塵やガスの放出を極限まで排除したヒータです。半導体製造等のクリーン
 ルームでの御使用に適しています。

 発熱体もセンサーも電線も被加熱流体に直接接触しないため、水蒸気や
 多少の腐食性ガスの加熱にも使えます。
φ19金属ケース入製品の一例。
CLH type clean heater series 発熱体や温度センサーは内側の石英管内に密閉封入
されています。

エアーはこの内側石英管と外側石英管の隙間を通るこ
とにより間接的に加熱されます。


    NPH type 
 
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 クリーンな加熱のできるヒータですが、レベル的にはCLHほど完璧では
 ありません。そのため半導体製造には使えない場合もあり得ますが太陽
 電池,液晶パネル製造などには適したレベルです。

 CLHタイプはクリーン度が完璧に近い代わりに同電力容量ならばSAH
 タイプの3倍近い容積サイズとなり、また高価格という欠点がありました。

 NPHタイプはこれを解決するためにCLHタイプに近いクリーンさとSAH
 タイプに近いコンパクトなサイズ,低価格を狙った製品です。

塵やガスの放出を格段に低減させたヒータです。

発熱体は被加熱流体に直接接触します。しかし比較的低
温で絶縁皮膜無しの発熱体を使うため、ほとんど塵(パー
ティクル)の発生がありません。ただし水蒸気や腐食性ガ
スの加熱には使えません。

発熱体は流体と直接接触するため、非常にコンパクトなが
ら効率よく伝熱され、簡単に高温のクリーンエアーが得ら
れます。

通常のSAHタイプヒータに比べ圧力損失が半分以下なの
、送風機は5kPa程度の物でも使用可能です。

絶縁物は主に石英ガラス,高純度アルミナで構成していま
す。

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**

CLHタイプは通常のヒータ(SAHタイプ)に比べると非常にタフですが、金属ケース(ステンレス製)や石英ガラス,耐熱
ゴム(バイトン,シリコン)などが耐える程度のご使用条件に限ります。

塵などの発生原因を無くしたクリーン構造ですが、ご使用前に清浄な空気等で十分にフラッシング(流して洗浄)してくだ
さい。(CLH,NPHタイプ共)

窒素ガス,不活性ガス(アルゴンガス等)の加熱は全く問題ありません。(CLHタイプ,NPHタイプ共)

ヒータ内に残留しやすい物質を含む様な流体の加熱には適しません。(熱風ヒータ全般)

    
  
         CLH type     

  分類(加熱管径)   パワーレンジ   金属ケース      備考
  CLH-10シリーズ   100wクラス
  150wクラス
 φ13×L113
 φ13×L153
  技術資料付
  CLH-15シリーズ   250wクラス  φ19×L168   技術資料付
  CLH-29シリーズ   1000wクラス  φ34×L300

  CLH-38シリーズ   1500wクラス
  3000wクラス
 φ43×L385
 φ43×L550
  技術資料付
  CLH-45シリーズ   3000wクラス
 4000wクラス
 φ50×L550
 φ50×L680
  技術資料付
  低圧損タイプ
  250L/min.で1kPa以下
  CLH-29×6シリーズ   3000wクラス
 6000wクラス 
  12kwクラス  
 φ102×L310
 φ102×L430
 φ102×L680
  29シリーズの発熱体を
  6本束ねたもの。
 CLH-38×6シリーズ   12 kwクラス  φ140×L500  38シリーズの発熱体を
  6本束ねたもの。
  CLHタイプの流量−最高熱風温度−寿命の関係についての解説

    コンパクト、ローコストのNPHシリーズはこちら   
 CLH is a heater without the discharges of dust and an impure gas, etc.
 CLH is used in the semiconductor manufacturing process etc.
 CLH is possible to use it to heat steam etc. because neither the heat
 source, the sensor nor the electric wire come in contact with the fluid.

     関連情報   右上段メニュ,左メニュもご参照ください。
*      項 目  Go          備 考
*熱風ヒータの概要,取扱説明 *熱風ヒータの使い方の詳細があります
*熱風加熱のビデオ *ハンダを溶かす実験や木材を焼切る実験ビデオ
*熱風ヒータの特性 *熱風ヒータの電圧-流量-熱風温度-エア圧力特性など
*熱風ヒータ専用コントローラ *熱風ヒータを制御して目的の温度,流量の熱風を得る装置
*エアー源について *各種エアー源の紹介。コンプレッサ,電磁ポンプ,ロータリブロア等
*製品の価格 *ほとんど全ての製品の価格指数一覧。価格そのものではありません
 熱電対による温度測定  測定方法の詳細と、代表的な熱電対であるK熱電対とR熱電対のデータ 
 熱風ヒータの計算方法  計算によりヒータの必要電力や予想される熱風温度,必要流量等を算出
   

温度センサーの寿命について

温度センサーの寿命ですが、CLHヒータの構造上、発熱体温度とほぼ同じ温度まで温度センサー線(熱電対)の
一部が温度上昇します。そのためにセンサーの寿命が問題になる可能性はあります。

この機種のセンサーには可能な限り太いK熱電対を使用しておりますが、小型の機種にはφ0.65程度しか使えま
せんので、ご使用条件(発熱体温度)によってはかなり寿命が短くなります。

発熱体を高温で使用される場合には、できれば温度センサーは外部から挿入するか、内蔵センサーの場合はR熱
電対(オプション)を使っておいた方が安全です。


使用材料について

このヒータには主要材料であるステンレス,石英ガラス,フッ素樹脂,フッ素ゴム以外にも接着や気密を保つ目的で
シリコン系の接着剤を使用します。これは特にご指定がなければシリコンRTVを使用します。これに代えて変性シリ
コン系の接着剤に変えることもできますが、多少耐熱性が劣ります(180℃→120℃)



                        
                              CLH−15シリーズへ


  CLH−10シリーズ 


  CLH−10シリーズ 特性


                              CLH−29シリーズへ

  CLH−15シリーズ 







  CLH−15シリーズ   特性                                          
                

                        
                              CLH−38シリーズへ


   CLH−29シリーズ 


                        
                              CLH−45シリーズへ


   CLH−38シリーズ                                               


                     CLH38シリーズ製造マニュアル

                        
                              CLH−29×6シリーズへ


      内管(加熱管)と外管の隙間を大きくして低圧損(1kPa以下)としたヒータ

     CLH−45シリーズ 


          上図ヒータの特性


                           CLH−38×6シリーズへ


   CLH−29×6シリーズ 

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内部に6本のヒータを束ねた構造で、電源リード線はそれぞれが独立して引き出されています。そのため、外部接続で単相,三相デルタ,三相スター結線にすることができ、多様な電源に対応可能です。




                        
                             CLHタイプの流量−最高熱風温度−寿命の関係へ



     CLH−38×6シリーズ   38シリーズの発熱体が内部で6本束になっている 








                        
                                    



          CLHタイプの流量に対する最高熱風温度と寿命の関係


** 上記グラフデータより、200v-1.5kwのCLHタイプヒータに150L/min.のエアーを流した場合には240vで発熱体の温度は1100℃を超えてしまい、寿命が問題になる温度領域になります。

それなのにこの時の熱風温度は480℃程度です。つまりこのヒータに150L/min.のエアーを流す場合の熱風温度限界は500℃以下です。

次にエアー流量を70L/min.まで減らすと、200vで約650℃の熱風が得られます。そのときの発熱体温度は1050℃程度であり、長寿命が期待できます。

つまりこのヒータに対して流すエアー流量が70L/min.程度ならば600℃以上の熱風温度が安定的に得られます。CLHタイプは発熱体と流体とが直接には接しないタイプですので、流量が多いといくら発熱体を高温にしても熱風温度はそれに比例しては上がりません。

しかしエアー流量を低下させていけば十分な熱交換が行われるようになり、かなり高温のエアーも得られる事になります。

センサーの寿命ですが、CLHヒータの構造上、発熱体温度とほぼ同じ温度まで温度センサー線(熱電対)の一部が温度上昇します。そのために寿命が問題になる可能性はあります。

この機種のセンサーには標準的にφ1.6のK熱電対を使用しており、十分に太いので通常のご使用ならば長寿命が期待できます。

しかし発熱体を高温で使用される場合には、できれば温度センサーは外部から挿入するか、内蔵センサーの場合はR熱電対(オプション)を使っておいた方が安全です。



                                 

  図面,資料 倉庫

 図面資料名  GO   備考
 CLH-38PH 汎用製品図 *公開
 CLH-30×6PH 石英内管 *公開
  CLH-30×6PH 金属内管 *公開
 CLH-30×6PH 金属ケース *公開
 CLH-38PH マニュアル *パスワード必要
 CLH-38PH 金属ケース(汎用) *公開
  CLH-38PH 製品図面(汎用) *公開
  CLH-38PH 金属ケース(1.5〜4k) *公開
  CLH-45PH-4kw金属ケース *公開  
  CLH200v-4kw/45PH 製品図 *公開
  CLH100v-2kw/38PH 製品図 *公開
  CLH200v-1.5kw 内部加熱管-写真 *パスワード必要
  CLH220-1.8k/38PH/(R3/8-R3/4) *公開
  CLH220v-12kw/30×6PH/(R1-R1) *公開
  CLH380v-12kw/30×6PH/(R1-R1) *公開



                      
                        
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